Ионно-сорбционная откачка - реферат

Ионно-сорбционная откачка .

При ионно-сорбционной откачке употребляют два метода поглощения газа : внедрение ионов в объем твердого тела под действием электронного поля и хим взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных металлов .

Высокоэнергетические ионы либо нейтральные частички , бомбардируя жесткое тело , попадают в него на глубину , достаточную для их растворения .Этот метод Ионно-сорбционная откачка - реферат удаления газа является разновидностью ионной откачки . На рис. 1 показано сбалансированное рассредотачивание концентрации при ионной откачке в объеме неограниченной пластинки шириной , рассоложенной снутри вакуумной камеры .

Наивысшую удельную геометрическую быстроту ионной откачки можно высчитать по формуле (1) , где – коэффициент внедрения ионов ; = – удельная частота бомбардировки ; – плотность ионного тока ; – простый электронный заряд ; – молекулярная концентрация Ионно-сорбционная откачка - реферат газа .

Коэффициент внедрения учитывает частичное отражение и рассеивание , возникающее при ионной бомбардировке . Коэффициент внедрения очень находится в зависимости от температуры тела и слабо – от плотности тока и ускоряющего напряжения . Значение наблюдается для Ti , Zn при 300 … 500 К .

Наибольшее значение концентрации растворенного газа при ионной откачке можно найти из условия Ионно-сорбционная откачка - реферат равновесия газовых потоков : (2) ( D – коэффициент диффузии газа в жестком теле ) . Градиенты концентраций определяются последующими отношениями : тут – глубина внедрения ионов ( – ускоряющее напряжение ) ; и – наибольшая и исходная концентрация плотности поглощенного газа .

Потому что величина мала по сопоставлению с ( константа даже для легких газов не превосходит 1.0 нм./кВ ) , то величиной в уравнение (2) можно Ионно-сорбционная откачка - реферат пренебречь : .

Отсюда следует выражение для предельной концентрации растворенного газа : .

Если величина , рассчитанная по приведенной формуле превосходит очень вероятную в данных критериях растворимость газа в металле , то поглощенный газ начинает объединяться в газовые пузырьки , вызывая разрыв металла . Это явление получило заглавие блистер-эффекта .

В нержавеющей стали водородный блистер-эффект наблюдается при Ионно-сорбционная откачка - реферат поглощение м3 *Па/см2 , что соответствует при быстроте откачки м3 /(с*см2 ) и давление Па примерно 300 часов непрерывной работы .

По известному значению можно подсчитать полное количество газа , которое будет поглощено единицей поверхности .

Во время ионной бомбардировки наблюдается распыление материала , сопровождающееся нанесением тонких пленок на электроды и Ионно-сорбционная откачка - реферат корпус насоса . Сорбционная активность этих пленок употребляется для хемосорбционной откачки .

Распыление активного материала может осуществляться независимо от процесса откачки , к примеру при помощи регулирования температуры нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа .

Более экономично расходуется активный металл в насосах с саморегулированием распыления . В этих Ионно-сорбционная откачка - реферат насосах распыление делается ионами откачиваемого газа , бомбардирующими катод , сделанный из активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод , где осуществляется хемосорбционная откачка .

Рис1. Установившееся рассредотачивание концентрации в неограниченной пластинке , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами .

X


Оглавление

Ионно-сорбционная откачка ....................................... 1

Рис1. Установившееся рассредотачивание концентрации в неограниченной пластинке , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами ............................ 3

Оглавление Ионно-сорбционная откачка - реферат................................................................................ 4

Применяемая литература :............................................ 5

Применяемая литература :

Л.Н. Розанов . Вакуумная техника .

Москва « Высшая школа » 1990 .

{ Slava KPSS }



ip-fedulov-aleksandr-mihajlovich-muzejno-turisticheskij-kompleks-yugra-15-gorod-nefteyugansk-16-muzej-reki-ob-16.html
ip-martinenko-m-a-polozhenie-o-provedenii-turnira-serii-amatour-sezona-2013-goda.html
ip-tyulkin-anatolij-mihajlovich.html